分子真空泵工作原理及结构图

随着我国的经济不断的发展，对于真空泵领域来说，其面临着巨大的市场，同时也需要面对巨大的挑战，如何能够让这些产品适应我们经济的发展，对于各类产品而言，了解其工作原理是最基础的工作。相关工作人员可以进一步研究相关的课题。

分子真空泵的抽气原理主要是利用了动量传递原理，使分子做定向流动而气体被排出泵外，从而实现抽气的目的。了解分子真空泵的工作原理对于最高效率的使用这款产品意义非凡，接下来主要介绍分子真空泵是如何进行工作。

分子真空泵在电机的带动下做高速旋转，采用变频电源驱动电机，这样的目的是希望能够实现较高的转速。在分子流区域内，气体分子与高速转到的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。

通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象，利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子真空泵。牵引分子真空泵的优点是启动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸气，特别适于抽除较重的气体。但由于牵引分子真空泵抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故降，而且制造困难，实际上很少应用。后来对牵引分子真空泵进行了改进，出现了涡轮分子真空泵。

涡轮分子真空泵内有多组相间动轮叶和定轮叶，每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片，。实际的涡轮分子真空泵都是由多级叶列串联组成，即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用，能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子真空泵的转速，有利于提高分子真空泵的抽速。由于叶片转速限制，如果气体分子运动速度较大，泵抽真空就比较困难。涡轮分子真空泵极限真空比扩散泵要更高，可达10-8pa。但是其正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异。