提高真空泵的可靠性

　(1)提高真空泵的可靠性，降低振动、噪声，注重真空泵的综合水平。过去的若干年，生产厂注重真空泵的主要性能指标，比如，极限压力、抽速等，而忽视真 空泵的综合性能。而现在，产品的可靠性、性能的稳定性以及对环境不造成污染逐渐成为用户购买产品时考虑的主要因素。对于旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等而言要将 成熟的可靠性设计理念运用到真空泵的设计中，在可靠性设计、可靠性实验等方面下工夫，以大幅度提高真空泵的可靠性、稳定性和寿命，保证真空泵能够在各种工 况下长期可靠的运行。同时通过采用新技术、新材料、新工艺、新结构来降低振动、噪声，解决泵的喷油、漏油问题，还用户一个清洁环保的工作环境。

　 　(2)真空泵向个性化、多样化发展。企业面对的永远是变化的市场，而我们的真空泵产品却千篇一律的雷同。产品和市场的不衔接，使我们丢掉了许多机会。真 空泵的下一步发展应该面向个性化和多样化。所谓个性化和多样化就是针对不同用户的不同需求，设计针对某一用户的特定场合的产品，使产品在这一场合应用，其 特性的发挥恰倒好处。

　　(3)尽快形成分子泵和干泵的规模生产。真空泵根据预测，到2016年我国将成为世界上第二大半导体集成电路市 场，总需求量约1000亿块，达到1000亿美元以上的总金额，需要建30多条大生产线才能满足需求。30条生产线所需干式真空泵大约15000台，是目 前我国真空泵年产量的1／10左右。

　　(4)国内目前真空获得设备仍然以传统的真空泵为主，主要为旋片真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空 泵、蒸汽流泵、水环真空泵等，且全部用于传统产业，我国生产的真空泵用于电子信息产业不足1％，与日本、欧美等国相比差距巨大。我国干式真空泵的生产处于 刚刚起步阶段，在全国200多家生产真空泵的企业中，能够生产干式真空泵的企业不足10家，年产量不足1000台。没有形成批量生产。

　　(5)国内生产的干泵绝大多数用于实验室及化学、医药等领域，用于半导体行业的很少。国内飞速发展的电子信息产业没有有效的刺激国内干式真空泵发展，而却成为国际上真空工业发达国家的扩张之地。

　 　(6)国内建成的半导体集成电路生产线，几乎所有的干式真空泵(包括其它真空设备)均为进口，主要来自英国、日本、德国、美国等。国内生产的干式真空泵 进入该领域十分艰难，使得干式真空泵这个未来真空获得设备的主导产品在我国处于十分困难的境地。造成此状况的主要原因为干式真空泵在我国的起步较晚，刚一 起步即面临国外已经发展成熟的产品大量进入我国市场，国内产品除了价格低外，在加工制造、技术水平、质量状况等各方面不含有优势，国外各国的产品经过几年 的较量，已经基本瓜分了国内市场，并且站稳了脚，国内的干式真空泵生产由于失去了市场的激励，没有了发展的动力，进步缓慢。业内专家一致认为干式真空泵是 真空获得设备发展的方向，也是真空获得手段的“尖端”技术，我国的真空泵产业必须在此领域有所作为，首先进入食品、化工、医药等行业。经过这些市场的培育 和锻炼，进而打入半导体行业。才能使整个行业与时俱进的发展。目前国内分子泵应健全系列并开发多品种，如低温分子泵、复合分子泵等，逐渐扩展市场。

　 　(7)抓紧产品结构调整，全力开发适应市场需求的产品传统的真空设备我们生产了几十年，在全国范围内形成了产品分布的稳定格局。但是随着经济的高速发 展，信息技术、航空航天、纳米科学等高科技弓I导了当今科学技术发展的潮流。而这些高新技术的发展离不开真空获得设备这个基础装备目前国内的状况是真空泵 生产企业仍然以生产传统产品为主，在传统应用领域占领90％以上的市场份额。在高科技领域，国内产品在技术水平和质量上不能满足要求，90％以上市场份额 由国外产品占领。国内真空获得产品与高新技术的发展严重脱节，产品结构不尽合理。多数企业期望靠已有的老产品，不断增加产量而逐年增加利润，这种可能性在 市场竞争日益激烈的今天会越来越小。在今天的国内外市场格局面前，尽快调整产品结构，使其适应市场需求才是最明智的选择。产品结构的调整一是要不断推出市 场需要的对路产品，对真空泵市场来说，就是要加快各种干式泵、分子泵以及其他高端产品的研制生产，尽快形成批量。二是全行业要形成高、中、低端产品的合理 布局，并随着市场的变化，不断调整，始终保持比较合理的产品结构状态。尽管新的一年里真空行业取得了令人瞩目的，但目前的真空泵技术发展状况却并不乐观。 全行业要认真分析形势，总结经验教训，团结一致，为行业的发展和技术进步开出一条。